Крупнейший китайский производитель полупроводникового оборудования использует 99%высокочистые керамические стержни из оксида алюминияв качестве основных прецизионных опорных компонентов полости оборудования, заменяя оригинальную опорную конструкцию из нержавеющей стали, достигается двойное повышение производительности оборудования и эффективности его работы.
Высокоточная индивидуальная настройкакерамический стержень из оксида алюминияОбладая гладкой и плоской поверхностью, этот керамический стержень сочетает в себе основные характеристики: высокую жесткость, низкий коэффициент теплового расширения, устойчивость к плазменной коррозии, высокую изоляцию и низкое пылеобразование, идеально подходит для жестких условий эксплуатации травильного оборудования, требующих высокой точности и непрерывной работы. Он в основном используется для фиксации оптических элементов и ограничительных структур пластин внутри оборудования, играя ключевую роль в точной поддержке, калибровке положения, изоляции и защите, обеспечивая структурную стабильность оборудования во время высокоскоростного возвратно-поступательного движения.
