Высокочистый материал является ключевым базовым компонентом, используемым в таких основных процессах, как диффузия в пластины, травление, осаждение и ионная имплантация.керамические трубки из оксида алюминияОксиды алюминия (Al₂O₃) обладают четырьмя ключевыми превосходными свойствами, включая сверхвысокую чистоту, высокую термостойкость, отличную изоляцию и коррозионную стойкость, что обуславливает растущий рыночный спрос на фоне стремления к локализации полупроводниковой и электронной промышленности.
1. Превосходные характеристики позволяют устранить основные проблемы полупроводниковых процессов.
Высокотемпературная, высококоррозионная, сверхчистая и высокоизолирующая рабочая среда в полупроводниковом производстве предъявляет чрезвычайно жесткие требования к материалам и их высокой чистоте.керамические трубки из оксида алюминияидеально соответствуют этим основным требованиям.
Сверхвысокая чистота для устранения микрозагрязнений
Полупроводниковыйкерамические трубки из оксида алюминияКак правило, достигается чистота 99,5%–99,99%, с низким содержанием металлических примесей, таких как Na, Fe и K, и без осаждения свободного SiO₂, что эффективно предотвращает ионное загрязнение из источника.
Высокая термостойкость и устойчивость к термическим ударам, подходит для экстремальных условий эксплуатации.
Он имеет температуру плавления до 2050℃, может стабильно использоваться в течение длительного времени при 1600℃ и выдерживает экстремально высокие температуры до 1800℃ в краткосрочной перспективе. Благодаря низкому коэффициенту теплового расширения, он не трескается и не деформируется при резком изменении температуры на 800℃, идеально подходя для высокотемпературных процессов, таких как диффузия, отжиг и осаждение.
Превосходная изоляция и высокочастотная стабильность для обеспечения безопасности цепи.
Его объемное удельное сопротивление достигает 10¹⁴–10¹⁶ Ом·см при комнатной температуре, при этом изоляционные характеристики остаются стабильными даже при высоких температурах. Он может изолировать высоковольтные электроды и предотвращать утечку тока. Благодаря стабильной диэлектрической постоянной 9,1–10,3 и чрезвычайно низким диэлектрическим потерям, он эффективно подходит для высокочастотных и микроволновых применений, предотвращая электромагнитные помехи, влияющие на точность микросхем.
Высокая твердость и износостойкость, а также высокая коррозионная стойкость обеспечивают длительный срок службы.
Обладая твердостью по шкале Мооса 9, уступающей только алмазу, она обеспечивает исключительную износостойкость и не образует пыли в процессе производства. Она устойчива к коррозии от 98%-ной концентрированной серной кислоты, 40%-ной фтористоводородной кислоты, а также плазмы на основе фтора и хлора. Срок ее службы более чем в 8 раз превышает срок службы труб из нержавеющей стали, что значительно снижает затраты на техническое обслуживание оборудования.
2. Комплексное применение, охватывающее основные сценарии развития полупроводниковой и электронной промышленности.
Производство кремниевых пластин и высокотемпературные процессы:Используются в качестве реакционных трубок, защитных трубок и трубок для диффузионных печей и печей для отжига.
Процессы травления и ионной имплантации:Применяются в качестве сопел, внутренних облицовочных трубок и фокусирующих колец в травильных машинах.
Применение электронных и оптических средств связи:использовались в качестве изоляционных опорных трубок и оболочек вакуумных выключателей в высоковольтном электронном оборудовании.
3. Тенденции в отрасли: высокая чистота, высокая точность и индивидуализация.
Непрерывное повышение чистоты:Благодаря повышению чистоты с 99,5% до сверхвысокой чистоты в 99,99%, достигается практически нулевое осаждение примесей, что позволяет адаптироваться к 2-нм техпроцессам и передовым технологиям производства.
Значительное повышение точности:Она обеспечивает шероховатость поверхности Ra0,02 мкм (полировка медицинского класса) с допусками по размерам на микронном уровне, что соответствует требованиям вакуумной герметизации и прецизионной сборки.
Популяризация индивидуальных решений:Специальные конструкции, такие как двухканальные, тонкостенные и с герметизированным дном, могут быть адаптированы для различных процессов, включая травление, осаждение и ионную имплантацию, чтобы соответствовать разнообразным условиям работы.
